Influence of different developer nozzle types on the photomask performance

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标题	Influence of different developer nozzle types on the photomask performance 不同显影剂喷嘴类型对光掩模性能的影响相关领域喷嘴光掩模抵抗小型化数码产品材料科学表面粗糙度光刻计算机科学机械工程过程（计算）步进电机线性电子工程光电子学纳米技术电气工程复合材料工程类操作系统图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2240859
DOI	10.1117/12.2240859 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Cindy Schmädicke; Axel Feicke; Mark Herrmann; Christian Bürgel 出版日期：2016-05-10
求助人	koman 在 2024-07-14 21:19:19 发布自江苏，悬赏 20 积分
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