Reactive magnetron sputtering of transparent conductive oxide thin films: Role of energetic particle (ion) bombardment

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标题	Reactive magnetron sputtering of transparent conductive oxide thin films: Role of energetic particle (ion) bombardment
网址	https://doi.org/10.1557/jmr.2011.428
DOI	10.1557/jmr.2011.428 doi
其它	期刊：Journal of Materials Research 作者：K. Ellmer; Thomas Welzel 出版日期：2012-02-08
求助人	CX 在 2026-09-16 20:49:42 发布自浙江，悬赏 10 积分
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