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标题
Formation of deprotected fuzzy blobs in chemically amplified resists
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DOI
10.1002/polb.20168 doi
其它 期刊:Journal of Polymer Science Part B: Polymer Physics
作者:Ronald L. Jones; Tengjiao Hu; Eric K. Lin; Wen‐Li Wu; Dario L. Goldfarb; et al
出版日期:2004-07-21
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李露露 在 2026-08-21 10:33:29 发布,悬赏 10 积分
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