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标题
Selective etching of PDMS: Etching as a negative tone resist
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2018.04.006
DOI
10.1016/j.apsusc.2018.04.006 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：S.Z. Szilasi; L. Juhasz
出版日期：2018-07-01
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高大摇伽 在 2026-07-29 21:12:21 发布自福建，悬赏 10 积分
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