Computational Fluid Dynamics simulation of the ALD of alumina from TMA and H2O in a commercial reactor

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标题	Computational Fluid Dynamics simulation of the ALD of alumina from TMA and H2O in a commercial reactor
网址	https://doi.org/10.1016/j.cherd.2018.02.031
DOI	10.1016/j.cherd.2018.02.031 doi
其它	期刊：Chemical Engineering Research & Design 作者：Georgios P. Gakis; Hugues Vergnes; E. Scheid; Constantin Vahlas; Brigitte Caussat; et al 出版日期：2018-03-01
求助人	冷酷的小凝在 2026-08-28 11:54:47 发布自山东，悬赏 10 积分
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