Atomic layer deposition of crystalline molybdenum oxide thin films and phase control by post-deposition annealing

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标题	Atomic layer deposition of crystalline molybdenum oxide thin films and phase control by post-deposition annealing
网址	https://doi.org/10.1016/j.mtchem.2018.04.005
DOI	10.1016/j.mtchem.2018.04.005 doi
其它	期刊：Materials Today Chemistry 作者：Miika Mattinen; P. King; L. Khriachtchev; Mikko J. Heikkilä; Ben J. Fleming; et al 出版日期：2018-09-01
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