In-situ analysis of positive and negative energetic ions generated during Sn-doped In2O3 deposition by reactive sputtering - 科研通

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标题	In-situ analysis of positive and negative energetic ions generated during Sn-doped In2O3 deposition by reactive sputtering
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S004060901...
DOI	10.1016/j.tsf.2011.04.143 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：N. Tsukamoto; T. Tazawa; Nobuto Oka; M. Saito; Y. Shigesato 出版日期：2011-12-01
求助人	灵巧的含海在 2026-07-22 14:40:39 发布自斯洛文尼亚，悬赏 10 积分
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