Interface kinetic engineering of heavily N-doped 4H-SiC: From surface step dynamics to polytype stability

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标题	Interface kinetic engineering of heavily N-doped 4H-SiC: From surface step dynamics to polytype stability
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2026.167347
DOI	10.1016/j.apsusc.2026.167347 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Jiaqi Tian; Laibin Zhao; Jiangfeng Wang; Yan Zhang; Xinglong Wang; et al 出版日期：2026-05-25
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