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Simulation of CVD Step Coverage for SiH4 using Parallel Processing of DSMC Method
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其它 S. Tatsuta, Y. Sato and N. Tamaoki
Toshiba Corp., Kanagawa, Japan
求助人
飞天小李警 在 2026-09-01 14:42:55 发布自上海，悬赏 10 积分
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    飞天小李警 飞天小李警 Lv32 求助人 发起了本次求助

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