Study of the Roughness in a Photoresist Masked, Isotropic, SF6-Based ICP Silicon Etch - 科研通

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标题	Study of the Roughness in a Photoresist Masked, Isotropic, SF6-Based ICP Silicon Etch
网址	https://backend.orbit.dtu.dk/ws/files/4454385/Dirch.pdf
DOI	10.1149/1.2357723 doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：K. P. Larsen; D. H. Petersen; O. Hansen 出版日期：2006-12-01
求助人	晨曦在 2026-08-29 18:01:40 发布自河南，悬赏 10 积分
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