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Ion Beam Deposition of Epitaxial 0001 In-Plane and Out-of-Plane Low-Resistivity Ruthenium for Interconnect Applications |
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期刊: 作者:Rutvik J. Mehta; Yuejing Wang; Frank Cerio; Robert Caldwell; Christopher Jezewski; et al 出版日期:2024-06-03 |
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(2025-6-4)