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标题
专利、报告等 Effect of LPCVD \$\mathrm{Si_3N_4}\$ deposition on \$\mathrm{Al_2O_3}\$ etch-stop films
网址
https://zenodo.org/record/3898763
DOI
10.5281/zenodo.3898763 doi
其它 期刊：Zenodo
作者：Mohammad J. Bereyhi
出版日期：2020-06-17
求助人
zheng 在 2026-07-13 15:58:36 发布自江苏，悬赏 10 积分
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