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标题
Plasma etching behavior of Al2O3, Y2O3, YF3 and YOF under fluorocarbon plasma
网址
https://doi.org/10.1016/j.mtcomm.2024.111403
DOI
10.1016/j.mtcomm.2024.111403 doi
其它 期刊：Materials today communications
作者：X. Wang; X. Wang; X. Wang
出版日期：2024-12-22
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123 在 2026-09-20 11:03:00 发布自浙江，悬赏 10 积分
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