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 Plasma-free metal-assisted chemical etching producing three-dimensional gallium nitride structures 制备三维氮化镓结构的无等离子体金属辅助化学蚀刻
相关领域
材料科学
氮化镓
镓
光电子学
宽禁带半导体
氮化物
半导体
紫外线
蚀刻（微加工）
带隙
等离子体刻蚀
纳米技术
冶金
图层（电子）
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期刊：Journal of Materials Chemistry C 作者：Yikai Liao; You Jin Kim; Shu An; Munho Kim 出版日期：2023-01-01 |
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