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Deposition of ultrathick heavy-metal alloys on rotating substrates by high-power impulse magnetron sputtering: Target erosion effects
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网址
https://doi.org/10.1063/5.0186803
AI链接 aip.org osti.govdoi.org
DOI
10.1063/5.0186803 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：S. J. Shin; J. H. Bae; A. M. Engwall; L. B. Bayu Aji; Alexander A. Baker; et al
出版日期：2024-01-17
求助人
星辰大海 在 2026-01-10 22:39:57 发布自河北，悬赏 10 积分
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