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标题
Development and evaluation of magnesium oxide-based ceramics for chamber parts in mass-production plasma etching equipment
批量生产等离子体刻蚀设备腔室部件用氧化镁基陶瓷的开发与评价
相关领域
陶瓷 材料科学 蚀刻（微加工） 镁 氧化物 腐蚀 钇 等离子体 冶金 产量（工程） 等离子体刻蚀 氧化铝 铝 复合材料 图层（电子） 量子力学 物理
网址
https://doi.org/10.7567/jjap.56.06hc01
DOI
10.7567/jjap.56.06hc01 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Yuji Kasashima; Kota Tsutsumi; Shinzo MITOMI; Fumihiko Uesugi
出版日期：2017-04-28
求助人
期刊 在 2026-01-03 22:43:38 发布自北京，悬赏 10 积分
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