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标题
Effect of yttrium feeding time on the electrical and structural properties of atomic layer deposited Y-doped TiO2 films for dynamic random-access memory capacitors
网址
https://doi.org/10.1039/D5TC01401H
DOI
10.1039/D5TC01401H doi
其它 期刊：Journal of Materials Chemistry C
作者：Tae Kyun Kim; Haengha Seo; Junil Lim; Heewon Paik; Jonghoon Shin; et al
出版日期：2025
求助人
闪闪的jian 在 2026-01-29 16:23:24 发布自福建，悬赏 20 积分
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