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Characterization of Structure, Morphology, Optical and Electrical Properties of AlN–Al–V Multilayer Thin Films Fabricated by Reactive DC Magnetron Sputtering 反应直流磁控溅射制备AlN-Al-V多层薄膜的结构、形貌及光电性能表征
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期刊:Coatings 作者:Maria I. Mironova; Aleksandr V. Kapishnikov; Ghaithaa A. Hamoud; В. А. Володин; I. A. Azarov; et al 出版日期:2023-01-18 |
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