Kinetically Stabilized Hafnia Ferroelectric of Al-Doped HfO₂ Film by Fast Ramping and Fast Cooling Process - 科研通

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标题	Kinetically Stabilized Hafnia Ferroelectric of Al-Doped HfO₂ Film by Fast Ramping and Fast Cooling Process 相关领域哈夫尼亚铁电性兴奋剂材料科学光电子学过程（计算）电气工程工程物理计算机科学复合材料物理工程类电介质操作系统立方氧化锆陶瓷
网址	https://doi.org/10.1109/ted.2024.3475308
DOI	10.1109/ted.2024.3475308 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Lingwei Zhang; Giuk Kim; Sangho Lee; Hunbeom Shin; Young-Jin Lim; et al 出版日期：2024-10-18
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