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 Atomic Layer Deposition 原子层沉积
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10.1016/b978-0-12-812311-9.00011-6
Doi
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| 其它 |
期刊：Nature Reviews Methods Primers 作者：Erwin Kessels, Anjana Devi, Jin-Seong Park, Mikko Ritala, Angel Yanguas-Gil & Claudia Wiemer 出版日期：2025-10-16 |
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wangpeiyao
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(2025-6-4)
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