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聚氨酯抛光垫特性对化学机械抛光性能的影响研究进展(特邀) |
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期刊:Infrared and Laser Engineering 作者:侯长余 HOU Changyu; 吴涛 WU Tao; 李凯强 LI Kaiqiang; 周平 ZHOU Ping; 郭东明 GUO Dongming 出版日期:2025-12-12 |
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