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标题
Magnetron sputtering
磁控溅射
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网址
https://doi.org/10.1116/6.0000594
DOI
10.1116/6.0000594 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：S. M. Rossnagel
出版日期：2020-11-19
求助人
pfshan 在 2025-04-16 16:39:18 发布自北京，悬赏 10 积分
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