Evaluation of surface roughness of ULE® substrates machined by Ar+ ion beam - 科研通

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标题	Evaluation of surface roughness of ULE® substrates machined by Ar+ ion beam
网址	https://doi.org/10.1016/j.mee.2008.01.056
DOI	10.1016/j.mee.2008.01.056 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：Yuichi Kurashima; Shuhei Miyachi; Iwao Miyamoto; Manabu Ando; Atsushi Numata 出版日期：2008-02-02
求助人	奋斗梦旋在 2026-09-13 23:45:29 发布自广东，悬赏 10 积分
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