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标题
Advanced surface affinity control for DSA contact hole shrink applications
网址
https://www.spiedigitallibrary.org/redirect/proceedings/proc...
DOI
10.1117/12.2258043 doi
其它 期刊：Advanced Lithography
作者：F. Delachat; A. Gharbi; P. Pimenta Barros; M. Argoud; C. Lapeyre; et al
出版日期：2017-03-21
求助人
不舍唱完的歌谣 在 2026-07-09 15:02:08 发布自江苏，悬赏 20 积分
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