Effects of hydrogen content in films on the etching of LPCVD and PECVD SiN films using CF4/H2 plasma at different substrate temperatures

已关闭

文献求助详情

标题	Effects of hydrogen content in films on the etching of LPCVD and PECVD SiN films using CF4/H2 plasma at different substrate temperatures
网址	http://dx.doi.org/10.1002/ppap.202100078
DOI	10.1002/ppap.202100078 doi
其它	期刊：Plasma Processes and Polymers 作者：Shih‐Nan Hsiao; Nikolay Britun; Thi‐Thuy‐Nga Nguyen; Takayoshi Tsutsumi; Kenji Ishikawa; et al 出版日期：2021-08-04
求助人	手动阀方式在 2026-08-03 16:53:13 发布自广东，悬赏 10 积分
下载

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

20天前，求助关闭

手动阀方式 Lv2 求助人关闭了本次求助。

说明不需要了。【积分已退回】
20天前

手动阀方式 Lv2 求助人驳回了科研通AI6.4 上传的文件

说明
不是该文章
20天前

科研通AI6.4 机器人Lv12 上传了文件

已驳回 ppap.202100078.pdf (1.71 MB)

温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请提交工单反馈。
20天前

手动阀方式 Lv2 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 嗯呢完成签到，获得积分10

刚刚; 要减肥的安柏完成签到，获得积分10

刚刚; 风中的饼干完成签到，获得积分10

1秒前; xhjh03完成签到，获得积分10

1秒前; 田様上传了应助文件

1秒前; 张欢馨上传了应助文件

1秒前; 深情安青上传了应助文件

2秒前; 大意的冷之发布了新的文献求助10

2秒前; xing_xing上传了应助文件

2秒前; 田幻雪完成签到，获得积分20

2秒前; 小小王科研完成签到，获得积分10

3秒前; 感性的荆完成签到，获得积分10

3秒前; 怕黑秋灵发布了新的文献求助10

3秒前; 积极电脑完成签到，获得积分10

4秒前; 故意的棒棒糖完成签到，获得积分10

4秒前; Emma上传了应助文件

5秒前; VeryLee发布了新的文献求助10

5秒前; 酷酷的含之完成签到，获得积分10

5秒前; 愉快翩跹发布了新的文献求助10

5秒前; 沙漠水手发布了新的文献求助10

5秒前; 藏羚羊发布了新的文献求助10

6秒前; 慕青的应助被MIKEY采纳，获得10

6秒前; 目眩发布了新的文献求助10

6秒前; 四宝完成签到，获得积分10

6秒前; 小二郎上传了应助文件

6秒前; ximo发布了新的文献求助10

6秒前; yy发布了新的文献求助10

7秒前; 风中的饼干发布了新的文献求助30

7秒前; 思源上传了应助文件

7秒前; xiangyang完成签到，获得积分10

8秒前; 科目三上传了应助文件

8秒前; Ma发布了新的文献求助10

8秒前; 小南发布了新的文献求助10

8秒前; 田様上传了应助文件

8秒前; 852上传了应助文件

8秒前; 无心的发箍发布了新的文献求助10

8秒前; cdercder上传了应助文件

9秒前; Connell完成签到，获得积分10

9秒前; 传奇3上传了应助文件

9秒前; 领导范儿的应助被wzr887采纳，获得10

9秒前