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 Advanced EUV patterning of 2D TMDs for CMOS integration 用于CMOS集成的二维TMD的高级EUV图案化
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期刊： 作者：Vina Faramarzi; Etienne De Poortere; Syam Parayil Venugopalan; P. J. M. Wöltgens; Youngtag Woo; et al 出版日期：2024-04-09 |
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