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标题
Research on the possibility of controlling the growth of thin copper layers deposited by DC magnetron sputtering
控制直流磁控溅射薄铜层生长的可能性研究
相关领域
溅射沉积 微晶 薄膜 扫描电子显微镜 材料科学 电阻率和电导率 腔磁控管 分析化学(期刊) 表面粗糙度 粒度 晶界 溅射 冶金 表面光洁度 复合材料 微观结构 纳米技术 工程类 化学 色谱法 电气工程
网址
DOI
10.1016/j.heliyon.2023.e14936 doi
其它 期刊:Heliyon
作者:T. Grudniewski; Estera Michaluk
出版日期:2023-04-01
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嗨害害 在 2025-08-03 01:38:09 发布自天津,悬赏 10 积分
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