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 (Invited) Novel Integration Process for IGZO MO-TFT Fabrication on Gen 8.5 PECVD and PVD Systems - A Quest to Improve TFT Stability and Mobility （特邀）在第8.5代PECVD和PVD系统上制造IGZO MO-TFT的新型集成工艺——提高TFT稳定性和迁移率的探索
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期刊：ECS Transactions 作者：Beom Soo Park; Dong Kil Yim; Seon-Mee Cho; Soo Young Choi; John White 出版日期：2013-06-28 |
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