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标题
Boosting Performance of SAW Resonator via AlN/ScAlN Composite Films and Dual Reflectors
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材料科学 谐振器 光电子学 压电 声表面波 栅栏 制作 声波 复合数 功勋 蚀刻(微加工) 薄膜 氮化物 光学 复合材料 纳米技术 图层(电子) 物理 病理 替代医学 医学
网址
DOI
10.1109/tuffc.2023.3247902 doi
其它 期刊:IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency Control
作者:Yan Liu; Binghui Lin; Ying Xie; Bo Woon Soon; Yao Cai; et al
出版日期:2023-02-22
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王壕 在 2025-10-27 10:51:53 发布自福建,悬赏 10 积分
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