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Deep reinforcement learning optimized double exponentially weighted moving average controller for chemical mechanical polishing processes 化学机械抛光过程的深度强化学习优化双指数加权移动平均控制器
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期刊:Process Safety and Environmental Protection 作者:Zhu Ma; Tianhong Pan; Jiaqiang Tian 出版日期:2023-08-04 |
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