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标题
Deep reinforcement learning optimized double exponentially weighted moving average controller for chemical mechanical polishing processes
化学机械抛光过程的深度强化学习优化双指数加权移动平均控制器
相关领域
强化学习 控制器(灌溉) 控制理论(社会学) 马尔可夫决策过程 补偿(心理学) 抛光 计算机科学 过程(计算) 跟踪(教育) 控制工程 马尔可夫过程 工程类 人工智能 数学 控制(管理) 统计 机械工程 操作系统 农学 生物 教育学 心理学 精神分析
网址
DOI
10.1016/j.cherd.2023.07.049 doi
其它 期刊:Process Safety and Environmental Protection
作者:Zhu Ma; Tianhong Pan; Jiaqiang Tian
出版日期:2023-08-04
求助人
无限铸海 在 2025-12-03 23:59:55 发布自江苏,悬赏 10 积分
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