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 A 27μW MEMS silicon oscillating accelerometer with bias instability and 10-μg/√Hz noise floor |
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| 其它 |
期刊：2018 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL) 作者：Xi Wang; Yong Ping Xu; Guo Ming Xia; Yang Zhao; Jian Zhao; et al 出版日期：2018-05-15 |
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