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 Phosphorus doping in molecular beam epitaxial grown silicon and silicon/germanium using a GaP decomposition source 利用间隙分解源在分子束外延生长硅和硅/锗中掺杂磷
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：G. Lippert; H. J. Osten; D. Krüger 出版日期：1995-12-01 |
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