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 Characterization of SiCN thin films: Experimental and theoretical investigations SiCN薄膜的表征：实验和理论研究
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期刊：Thin Solid Films 作者：В. И. Иващенко; A.O. Kozak; O. K. Porada; L. A. Ivashchenko; O. K. Sinelnichenko; et al 出版日期：2014-08-30 |
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