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Characterization of SiCN thin films: Experimental and theoretical investigations
SiCN薄膜的表征：实验和理论研究
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网址
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2014.08.027
DOI
10.1016/j.tsf.2014.08.027 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：В. И. Иващенко; A.O. Kozak; O. K. Porada; L. A. Ivashchenko; O. K. Sinelnichenko; et al
出版日期：2014-08-30
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欢hi丢厚 在 2025-12-31 16:33:38 发布自福建，悬赏 10 积分
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