Isotropic plasma-thermal atomic layer etching of superconducting titanium nitride films using sequential exposures of molecular oxygen and SF6/H2 plasma

已完结

文献求助详情

标题	Isotropic plasma-thermal atomic layer etching of superconducting titanium nitride films using sequential exposures of molecular oxygen and SF6/H2 plasma 相关领域锡材料科学蚀刻（微加工）反应离子刻蚀氮化钛等离子体刻蚀分析化学（期刊）超导电性等离子体纳米技术图层（电子）光电子学氮化物冶金化学凝聚态物理物理色谱法量子力学
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002965
DOI	10.1116/6.0002965 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Azmain A. Hossain; Haozhe Wang; David S. Catherall; M. S. Leung; Harm C. M. Knoops; et al 出版日期：2023-09-26
求助人	ddt 在 2026-01-29 14:10:25 发布自中国香港，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让科研之路畅通无阻

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: HearbaRtNDY发布了新的文献求助10

1秒前; 慕青上传了应助文件

1秒前; 文静发布了新的文献求助10

1秒前; 黄少阳发布了新的文献求助10

2秒前; 量子星尘发布了新的文献求助10

2秒前; 布打勒上传了应助文件

3秒前; 调皮的逍遥完成签到，获得积分10

3秒前; 斯文败类的应助被土豆晴采纳，获得10

4秒前; 赘婿的应助被成就翠柏采纳，获得10

4秒前; 十六发布了新的文献求助10

4秒前; 冷傲汽车完成签到，获得积分10

5秒前; Jasper的应助被小冰采纳，获得10

5秒前; 我不做饭完成签到，获得积分10

6秒前; 是哇哦完成签到，获得积分10

6秒前; 振武校尉发布了新的文献求助10

6秒前; 纯真的乌完成签到，获得积分10

6秒前; Mrmiss666发布了新的文献求助10

6秒前; fiu～发布了新的文献求助10

6秒前; 英姑上传了应助文件

7秒前; 雨陌上传了应助文件

7秒前; 小胡同学发布了新的文献求助20

7秒前; 李健的小迷弟上传了应助文件

7秒前; 完美世界上传了应助文件

7秒前; ppp完成签到，获得积分10

7秒前; dd发布了新的文献求助10

8秒前; JamesPei上传了应助文件

8秒前; cc的应助被许星意采纳，获得100

8秒前; 完美世界上传了应助文件

8秒前; pluto上传了应助文件

8秒前; 白白完成签到，获得积分10

9秒前; 我是老大上传了应助文件

9秒前; even完成签到，获得积分10

9秒前; 开心的弱上传了应助文件

9秒前; 典雅的人生上传了应助文件

9秒前; lumos完成签到，获得积分10

10秒前; 灰嘞塔德发布了新的文献求助10

10秒前; JamesPei的应助被123采纳，获得10

10秒前; null上传了应助文件

11秒前; Zzziihao发布了新的文献求助10

11秒前; 123321完成签到，获得积分10

12秒前