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Molecular dynamics of 4H-SiC nano-grinding under dual abrasive particle coupling
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网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2025.109922
DOI
10.1016/j.mssp.2025.109922 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Fan Song; Jisheng Pan; Hanxiao Li; Jianping He; Taosheng Zhang; et al
出版日期：2025-08-09
求助人
爱在深秋 在 2025-11-22 14:39:12 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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