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Research on deep trench capacitor structure design and its effect on capacitance density and breakdown voltage
深沟槽电容器结构设计及其对电容密度和击穿电压影响的研究
相关领域
电容 沟槽 电容器 击穿电压 材料科学 电气工程 电压 光电子学 电子工程 工程物理 工程类 复合材料 物理 电极 图层（电子） 量子力学
网址
https://doi.org/10.1109/ICEPT63120.2024.10668657
DOI
10.1109/ICEPT63120.2024.10668657 doi
其它 期刊：
作者：Pengsen Wang; Z.N. Lei; Chunmin Cheng; Wei Shen; Daowei Wu; et al
出版日期：2024-08-07
求助人
superlit 在 2025-12-26 08:29:39 发布自湖北，悬赏 10 积分
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