應用化學濾網去除某晶圓廠黃光區潔淨室之氨氣

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标题	應用化學濾網去除某晶圓廠黃光區潔淨室之氨氣
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	该研究在某晶圆厂黄光区 FFU 上方安装化学滤网，以 IMS 连续监测氨气浓度长达一年。结果显示：FFU 吸入端氨气平均浓度由 5.5 ppb 降至 1~3 ppb；FFU 出气端由平均 5.5 ppb 降至 1 ppb 以下。在低浓度条件下，平均去除效率可达 80~90%。
求助人	一崽在 2026-11-05 14:42:06 发布自江苏，悬赏 10 积分
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