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标题
Analysis of Scratches Formed on Oxide Surface during Chemical Mechanical Planarization
网址
https://repository.library.northeastern.edu/files/neu:329896...
DOI
10.1149/1.3265474 doi
其它 期刊：Journal of The Electrochemical Society
作者：Jae-Gon Choi; Y. N. Prasad; In-Kwon Kim; In-gon Kim; W. Kim; et al
出版日期：2010-02-01
求助人
chuling 在 2026-11-05 18:51:50 发布自江苏，悬赏 10 积分
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