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Nitride spacer aided 0.15 μm AlGaN/GaN HEMT fabrication with optimized gate patterning process 相关领域
制作
高电子迁移率晶体管
材料科学
光电子学
宽禁带半导体
氮化物
氮化镓
过程(计算)
纳米技术
晶体管
电气工程
图层(电子)
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工程类
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病理
医学
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Beibei Lv; Lixing Zhang; Jiongjiong Mo 出版日期:2024-10-07 |
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