Ultraprecision multi-axis CARIC control strategy with application to a nano-accuracy air-bearing motion stage

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标题	Ultraprecision multi-axis CARIC control strategy with application to a nano-accuracy air-bearing motion stage
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.isatra.2025.01.020
DOI	10.1016/j.isatra.2025.01.020 doi
其它	期刊：ISA Transactions 作者：Ran Zhou; Ze Wang; Jiuru Lu; Yu Zhu; Chuxiong Hu 出版日期：2025-03-01
求助人	Mobei 在 2026-10-29 18:40:18 发布自河南，悬赏 10 积分
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