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Reaction Mechanism and Selectivity Control of Si Compound ALE Based on Plasma Modification and F-Radical Exposure |
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期刊:Langmuir 作者:René H. J. Vervuurt; Bablu Mukherjee; Kazuya Nakane; Takayoshi Tsutsumi; Masaru Hori; et al 出版日期:2021-10-20 |
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(2025-6-4)