Nano-scale molecular analysis of positive tone photo-resist films with varying dose

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标题	Nano-scale molecular analysis of positive tone photo-resist films with varying dose 不同剂量正性光致抗蚀剂薄膜的纳米分子分析相关领域光刻胶抵抗材料科学纳米- 表征（材料科学）离子纳米颗粒分析化学（期刊）纳米技术质谱质谱法化学复合材料色谱法有机化学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2551941
DOI	10.1117/12.2551941 doi
其它	期刊：作者：Michael J. Eller; Mingqi Li; X. -L. Hou; Stanislav V. Verkhoturov; E. A. Schweikert; et al 出版日期：2020-03-20
求助人	沐雨疏桐在 2025-10-27 09:21:19 发布自吉林，悬赏 20 积分
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