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 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法 |
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标准号： GB/T 42905-2023标准性质： 推荐性 发布日期： 2023-08-06实施日期： 2024-03-01 发布单位： 国家市场监督管理总局;国家标准化管理委员会 起草人： 钮应喜;刘敏;袁松;赵丽霞;丁雄杰;吴会旺;仇光寅;李素青;李京波;张会娟;赵跃;彭铁坤;雷浩东;闫果果 起草单位： 安徽长飞先进半导体有限公司; 安徽芯乐半导体有限公司; 河北普兴电子科技股份有限公司; 广东天域半导体股份有限公司; 南京国盛电子有限公司; 浙江芯科半导体有限公司; 布鲁克(北京)科技有限公司; 中国科学院半导体研究所; 有色金属技术经济研究院有限责任公司; 标准技术委员会： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) 中国标准分类号： H21 冶金-金属理化性能试验方法-金属物理性能试验方法 国际标准分类号： 77_040 冶金-金属材料试验 专辑： 工程科技Ⅰ辑 专题： 金属学及金属工艺 总页数： 12 |
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(2025-6-4)
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