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[求助补充材料] Improving polishing activity in CMP slurry through CeO2-LaOF interface effect and dispersant optimization
相关领域
分散剂 六偏磷酸钠 泥浆 分散稳定性 吸附 抛光 化学机械平面化 Zeta电位 表面粗糙度 材料科学 分散性 磨料 化学工程 悬挂(拓扑) 表面光洁度 聚丙烯酸钠 化学稳定性 复合材料 比表面积 色散(光学)
网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2025.164821 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Yingpeng Li; Xiaomin Luo; Wen Zhan; Jinghua Yu; Hui Xia; et al
出版日期:2025-10-01
求助人
翻斗花园爆破手牛爷爷 在 2025-10-10 10:29:52 发布自吉林,悬赏 20 积分
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