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Multi-furnace optimization in silicon single crystal production plants by power load scheduling 基于电力负荷调度的硅单晶生产装置多炉优化
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期刊:Journal of Process Control 作者:Lu Kang; Ding Liu; Yali Wu; Yingzhen Zhao; Guozheng Ping 出版日期:2022-07-15 |
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