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标题
Bubble Effects on Manufacturing of Silicon Nanowires by Metal-Assisted Chemical Etching
气泡对金属辅助化学刻蚀制备硅纳米线的影响
相关领域
薄脆饼 蚀刻（微加工） 材料科学 各向同性腐蚀 纳米技术 硅纳米线 硅 纳米线 气泡 反应离子刻蚀 光电子学 计算机科学 并行计算 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1115/1.4062392
DOI
10.1115/1.4062392 doi
其它 期刊：Journal of Manufacturing Science and Engineering
作者：Pee‐Yew Lee; Chun-Jen Weng; Hung Ji Huang; Liyan Wu; Guo-Hao Lu; et al
出版日期：2023-04-21
求助人
Ada 在 2025-08-30 16:31:01 发布，悬赏 30 积分
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