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标题
Effect of Sputtering Process Parameters on Physical Properties and Electron Emission Level of Titanium Nitride Films
溅射工艺参数对氮化钛薄膜物理性能和电子发射能级的影响
相关领域
溅射 材料科学 氮化物 钛 氮化钛 电子 光电子学 冶金 薄膜 纳米技术 物理 核物理学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.3390/inorganics13060201
DOI
10.3390/inorganics13060201 doi
其它 期刊：Inorganics
作者：Yang Xia; Dan Wang
出版日期：2025-06-16
求助人
高梦祥 在 2025-07-29 22:43:48 发布自安徽，悬赏 10 积分
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