Size-controlled fabrication of silicon nanopore arrays by silver-assisted chemical etching

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标题	[求助补充材料] Size-controlled fabrication of silicon nanopore arrays by silver-assisted chemical etching 银辅助化学刻蚀尺寸可控的硅纳米孔阵列制备相关领域纳米孔蚀刻（微加工）材料科学反应离子刻蚀硅纳米技术各向同性腐蚀制作黑硅光电子学图层（电子）医学替代医学病理
网址	https://doi.org/10.1063/5.0264413 AI链接 nih.govdoi.org
DOI	10.1063/5.0264413 doi
其它	期刊：Journal of Chemical Physics 作者：Yuxin Cheng; Qinglong Luo; Junjie Hong; Silu Feng; Zhishan Yuan; et al 出版日期：2025-05-01
求助人	Fonxi 在 2025-09-29 10:44:50 发布自上海，悬赏 20 积分
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