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 A new technique for producing large-area as-deposited zero-stress LPCVD polysilicon films: the MultiPoly process 一种制备大面积沉积零应力LPCVD多晶硅薄膜的新技术：MultiPoly工艺
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期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Jie Yang; H. Kahn; Anqiang He; S.M. Phillips; A. H. Heuer 出版日期：2000-12-01 |
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