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  Deep-patterning of complex oxides by focused ion beam with PMMA-assisted hybrid protective layer 聚甲基丙烯酸甲酯辅助复合保护层聚焦离子束对复合氧化物的深度构图
相关领域
图层（电子）
材料科学
离子
聚焦离子束
离子束
纳米技术
化学
有机化学
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期刊：Nano express 作者：Jessie Shiue; Pai-Chia Kuo 出版日期：2020-08-27 |
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